Thermal Profile Monitor
작성자
관리자
작성일
2016-01-05 06:19
조회
1607
| 항목 | 내용 |
| CPU | TMS320VC33 |
| Memory | SRAM : 512K X 32Bit Flash Memory : 2M X 8Bit |
| 온도 제어 | Channel 수 : 32 Channel 온도 센서 : Pt100 |
| Common DI | - |
| Common DO | - |
| AI | - |
| AO | - |
| 통신 | RS-232C : 1 Channel |
| 크기 | W250 X L120 X H30 (mm) |
| 사용 전원 | AC 220V(단상) |
| 동작 온도 | 0 ~ 50℃ |
| 보관 온도 | -10 ~ 70℃ |
| 질량 |
|
| Application | Wafer 온도 Monitoring |